电子工业中静电防护的根本目的是在电子元器件、组件和设备的制造过程中,通过一定的途径,防止静电的力学效应和放电效应而产生或可能产生的障害,或把障害限制到最小程度,确保产品的设计性能和使用性能不因静电作用而受到损害。
防静电主要是防止静电放电。控制静电放电要从控制静电的产生和控制静电的消除两方面入手。控制静电的产生主要是控制工艺过程和工艺过程中材料的选择;控制静电的消除主要是加速静电的泄露和中和。这两点共同作用才能使静电电压不超过安全阈值,以达到静电防护的目的。
1. 消除静电的途径
静电能对静电敏感器件造成障害,但它是可控的,可消除的。为此要讨论生产过程中静电防护系统的安全工作原理,以及静电的消除和静电的防护方法。
(1)静电的消除特性要消除静电首先要明确对静电防护的基本思想:
① 对有可能产生静电的地方要防止静电荷的聚集。即采取一定的措施避免或减少静电放电的产生。可采用边产生边泄露的办法达到消除电荷聚集的目的。
② 对已存在的电荷积聚,应迅速地消除掉。当绝缘物体带电时,电荷不能流动,无法进行泄漏,可利用静电消除器产生异性离子来中和静电荷。当带电的物体是导体时,则采用简单的接地泄露办法,使其所带电荷完全消除。要构成一个完整的静电安全工作区,至少应包括有效的静电台垫、专用地线和防静电腕带等。
(2)静电的基本防护途径静电的控制技术是在静电电荷积聚不可避免的情况下,采取综合措施将静电危害控制在允许的范围内。
① 工艺控制法 目的是在生产过程中尽量少地产生静电荷。对工艺流程中材料的选择、设备安装和操作管理等过程应采取预防措施,控制静电的产生和电荷的聚集,抑制静电电位和放电能量,使危害降到最小程度。
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